洁净车间是指对空气洁净度、温度、湿度、压力、噪声等参数根据需要都进行操控的密闭性较好的空间。由于精密机械工业、半导体工业等对环境的要求，促进了洁净车间技能的发展。

相对湿度是衡量洁净车间等级规范的条件参数之一。实际上，一些应用指定的误差仅为1％RH，这是由于从物理/化学观念上相对湿度对材料加工和存储上的影响。

细菌和其他生物污染（霉菌，病毒，真菌，螨虫）在相对湿度超越60%的环境中能够活跃繁衍，甚至有一些菌群在相对湿度超越30%时能够增加。将洁净车间的相对湿度操控在40%至60%的范围之间，有效地操控细菌和其他生物的增加，下降其带来的影响。

除了抑制各种微生物的生长，温湿度的操控在必定程度上能够防止各种化学反响或改变反响速度，譬如腐蚀，将跟着相对湿度的增高而加速。相对湿度在50%时易生锈，相反，有些金属，例如铝，能够与水构成一层保护型的氧化物，但并不是好事，由于有或许阻止进一步的氧化反响，影响功率。

洁净车间的发展与现代工业、技能密切联系在一起。湿度的操控也不是越低越好。当相对湿度小于30%时，静电荷能够在绝缘体或者未接地的表面上继续存在很长一段时间。较低的湿度容易造成电荷的堆集并成为潜在的具有破坏性的静电开释源。当相对湿度超越50%时，静电荷开始迅速消散。高湿度实际上减小了静电荷堆集，这是人们期望的成果。

洁净车间的温湿度主要是根据工艺要求来确认，但在满意工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。湿度过高会使人觉得气闷，而湿度低于30%RH则会让人感觉枯燥，皮肤皲裂，呼吸道不适以及情感上的不快。